સેમિકન્ડક્ટર ગેસ ડિલિવરી સિસ્ટમ્સ માટે ઉચ્ચ-પ્રદર્શન IGS સરફેસ માઉન્ટ C સીલ ફિલ્ટર્સ

વર્ણન

હેંગકો સરફેસ માઉન્ટ ફિલ્ટર્સ સેમિકન્ડક્ટર OEM ટૂલ્સમાં ઉપયોગમાં લેવાતી સંકલિત ગેસ સિસ્ટમ્સની માંગણી જરૂરિયાતોને પૂર્ણ કરવા માટે ડિઝાઇન કરવામાં આવ્યા છે. 0.003 µm પર ઉદ્યોગ-અગ્રણી ફિલ્ટરેશન ઓફર કરતા, આ ફિલ્ટર્સ 120 slpm પર ≥99.9999999% (9-LRV) ની કણ અવરોધ કાર્યક્ષમતા સાથે અસાધારણ કામગીરી અને વિશ્વસનીયતા સુનિશ્ચિત કરે છે.

ફિલ્ટર એલિમેન્ટ અને હાઉસિંગ માટે સિન્ટર્ડ કરેલા મજબૂત 316L સ્ટેનલેસ સ્ટીલ પાવડરમાંથી બનેલા, આ ફિલ્ટર્સ SEMI F86-0304 સ્પષ્ટીકરણોનું પાલન કરે છે, જેમાં C-સીલ ગોઠવણી સાથે 1.125” ગેસ વિતરણ પ્રણાલીઓ માટે તૈયાર કરાયેલા બે-પોર્ટ ઘટકો છે. તેઓ 100°C પર 3.4 MPa ના મહત્તમ ઇનલેટ દબાણ અને 100°C પર 0.69 MPa ના મહત્તમ ઓપરેટિંગ દબાણ તફાવતને સપોર્ટ કરે છે.

આ વિશિષ્ટ ફિલ્ટર્સ, C-ટાઈપ અને W-ટાઈપ સીલ બંને સ્પષ્ટીકરણો સાથે સુસંગત, કણ મુક્તિ સાથે ડાઉનસ્ટ્રીમ સ્વચ્છતા પ્રાપ્ત કરે છે.

Ra ની સપાટી પૂર્ણાહુતિ સાથેબાહ્ય ભાગ પર < 1.6 µm અને Raઆંતરિક ભાગમાં 0.13 µm થી ઓછા, તેઓ 460°C સુધીના ઊંચા તાપમાનનો સામનો કરવા માટે ડિઝાઇન કરવામાં આવ્યા છે. સરળ એકીકરણ અને મોડ્યુલર ડિઝાઇન અપગ્રેડ માટે રચાયેલ, આ ફિલ્ટર્સ ઇન્સ્ટોલેશન અને જાળવણીને સરળ બનાવે છે, જે સેમિકન્ડક્ટર ગેસ ડિલિવરી અને નિયંત્રણ એપ્લિકેશનોમાં સિસ્ટમ પ્રદર્શનને ઑપ્ટિમાઇઝ કરવામાં મદદ કરે છે.

ઉત્પાદન લક્ષણ

▶ કુલ 316L સ્ટેનલેસ સ્ટીલ બાંધકામ
▶ લઘુચિત્ર ડિઝાઇન, કોમ્પેક્ટ માળખું, જગ્યા બચાવનાર
▶ ઉત્તમ ગેસ રિપ્લેસમેન્ટ અને ડિસોર્પ્શન લાક્ષણિકતાઓ
▶ ઉચ્ચ તાપમાન, ઉચ્ચ દબાણ અને કાટ પ્રતિરોધક
▶ ઇલેક્ટ્રો-પોલિશ્ડ 316L સ્ટેનલેસ સ્ટીલ હાઉસિંગ
▶ સરળ અને કાર્યક્ષમ સ્થાપન અને જાળવણી
▶ યાંત્રિક સીલિંગ, માળખાકીય રીતે માધ્યમમાં વેલ્ડેડ નથી

ડેટાશીટ

કદ

તમે ઓર્ડર કરી શકો છો તે ભાગ નંબર અને કદની વિગતો અહીં છે:

લાક્ષણિક એપ્લિકેશનો

ડબલ્યુ-સીલ અને સી-સીલ સાથે ઉપયોગ માટે, 1.125” અને 1.5” સપાટી માઉન્ટ મોડ્યુલર ગેસ ડિલિવરી સિસ્ટમ્સ.